本文標題："怎樣徹底清除表面的粒狀物質(zhì)光學顯微鏡"

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怎樣徹底清除表面的粒狀物質(zhì)光學顯微鏡

    由于表面普遍存在粒子污染，所以凈化問題急需解決。其原
因是對電子器件所需潔凈度，以及怎樣徹底清除粒子的技術了解
甚少，只認為這是一般的間題。
    雖然有了高效過濾器，并在沽凈室的設計中得到了應用，但
是，要使表面完全沒有灰塵或其它粒狀物質(zhì)，實際上這是不可能
的。即使只在層流罩內(nèi)放幾天，在顯微鏡黑色管簡上也能粉到粒
狀物質(zhì)。同樣，將硅片在標準罩內(nèi)存放一星期，由于選擇性的粒子
污染，硅表面出現(xiàn)了鈉原子。
    清除表面粒子可用兩種方法:用壓縮空氣吹;用水或隋性溶劑
快速沖洗。清除這種粒狀物質(zhì)的難度，與日常清掃汽車相似。即
使高速行駛，汽車表面的粒狀物質(zhì)也只是小部分被“吹掉”。或許
這種比喻不怎么恰當，因為在汽車表面沉積了一層趨于增加粘附
力的有機膜，當然在硅片.上也是沉積了一層有機膜。如果有人想
用軟管的水流(沒有肥皂的)洗掉汽車上的塵土，那么經(jīng)驗說明，即
使水流壓力再高也達不到目的的。
    使顆粒與基片產(chǎn)生所謂粘附的究競是些什么力呢?對引起粘
附的力可以進行理論上的探討。

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