利用金屬的性質(zhì)做零件與器件的潔凈存儲
事實(shí)說明:在同一表面,分子不僅進(jìn)行物理吸附,而且也進(jìn)行化學(xué)吸附。哈伊爾還報導(dǎo)過NiO --SiO,表而吸附CO的事例, 許多復(fù)雜的有機(jī)分子也產(chǎn)生化學(xué)吸附。加工面常常被真空泵、潤滑油、溶劑等有機(jī)物蒸氣所污染。后而將介紹檢測這些有機(jī)物蒸氣的方法,就是增大放在原始基片而后又放在暴露過的基片上的水滴接觸角來進(jìn)行的。有一種檢測器是由輕微氧化的鎳片、鎳鉻片或用鋁片組成。吸附這些雜質(zhì)好的是過渡族金屬,利用這種金屬的性質(zhì)易于做到零件與器件的潔凈存儲。 幾種半導(dǎo)體表面的粘貼系數(shù)示于表6-0。這些數(shù)值僅僅表示氧分子與硅之間導(dǎo)致吸附的碰撞部分。數(shù)值均勻意味每一次碰撞都異致吸附。
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