對(duì)粒子進(jìn)行識(shí)別測(cè)量收集應(yīng)用那種顯微鏡觀察
如果要進(jìn)行瞬時(shí)測(cè)員,重力法和撞擊法都是不合適的。然而要測(cè)定粒子大小,并對(duì)粒子進(jìn)行識(shí)別,這些收集方法也是可以的。用重力法收集粒子試樣可以使分析人員了解有多少粒子,而且是什么樣的粒子落在產(chǎn)品表面。但是所得數(shù)字不是周?chē)臻g存在的粒子,因?yàn)?,只有大粒?大子5微米直徑)在一定時(shí)間內(nèi)才能降落到產(chǎn)品表面。 收集試樣所需時(shí)間一般是兩小時(shí)到數(shù)天,它根據(jù)工作環(huán)境的潔凈度來(lái)決定。重力沉降法傾向于收集那些山人或工藝過(guò)程中產(chǎn)生的粒子。 通常,真空碰掩法的取樣時(shí)間比重力法要少。因?yàn)?,在清潔環(huán)境中操作人員可以選擇高流速真空泵。大多數(shù)試樣的收集時(shí)間為四小時(shí),但如特殊情況,則取樣時(shí)間要長(zhǎng)些。 若取樣時(shí)間和泵的流速為已知,則可求得空氣中粒子的平均濃度。如果收集時(shí)能使附聚作用小,還可獲得粒徑的分布狀況,而不會(huì)有采用重力法時(shí)引入的偏差。應(yīng)當(dāng)注意:這種試樣只是指出環(huán)境狀態(tài),而不是產(chǎn)品表面。
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