電子顯微鏡電子和樣品的相互作用會導(dǎo)致什么結(jié)果
將電子加速到2-30千伏形成電子束,然后用一系列磁透鏡和限制光闌使電子束在樣品上聚焦到100埃大小的光點。電子束在偏轉(zhuǎn)線或偏轉(zhuǎn)板所控制的區(qū)域進行掃描。 電子和樣品的相互作用導(dǎo)致:(1)反向散射電子,這種電子由樣品表而散射而來,其能量和入射電子束差不多;(2)由樣品表面發(fā)射二次電子;(3)傳導(dǎo)或吸收電子,這些電子進入樣品的大面積上,并由電連接導(dǎo)入地面而消去。這種相互作用使掃描電子顯微鏡以某些方式取得圖像。由于所選檢測型式不同,取得有意義信息的樣品深度也不一樣。 發(fā)射模式 高能反向散射電子產(chǎn)生表面起伏圖形的信息和平均原子數(shù)的某些有限數(shù)據(jù),這是因為散射效率是隨原子數(shù)而增高的。二次電子(由樣品發(fā)射的低能電子)受表面起伏圖形的影響較小。圖4-10中陰影部分即為這兩種的方式。若改變樣品對于入射電子束和檢測器之間的方向,則所獲圖像可這樣解釋:電子束和檢測器的方向似乎就是光源和觀察者對于物體的方向。
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